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真空炉的操作步骤,主要体现在以下这些方面:
1、打开真空炉门并装料。关闭炉门,确保炉子密封良好。
2、检查所有手动真空阀,确保其关闭。
3、当主电源接通时,控制显示屏亮起。
4、打开冷水机组电源,在冷水机组操作界面输入所需水温,启动水冷系统(详见冷水机组操作手册)。
5、打开旋叶泵上的排气口,确保气体循环。(使用旋片泵后,密封通风口,防止杂质进入旋片泵)确保扩散泵和旋片泵阀门关闭。
6、在触摸屏操作界面上启动旋叶泵和扩散泵。
7、缓慢旋转并打开旋片泵阀,以避免因排气口空气量过大而喷油。
8、在旋片泵和扩散泵运行约1小时后,真空表右侧显示屏显示小于100Pa,关闭旋片泵阀,打开扩散泵阀。
9、当真空表显示屏上达到所需的真空度时,关闭真空泵组并开始加热。(真空泵组关闭过程:先关闭扩散泵阀→停止扩散泵→40分钟后停止旋转叶片泵)也可以在抽真空期间加热。
10、在升温操作界面输入所需的工艺要求,开始加热。
11、加热程序停止后,(如果在添加过程中抽真空,则在真空炉的炉膛温度降至适合该过程的温度后关闭真空泵机组,关闭过程同上),只有扩散泵的温度降至可触摸温度时才能关闭扩散泵。
12、当炉膛温度降至室温时,打开排气阀,等待炉膛内压力达到大气压。
13、打开炉门,取出材料。
14、材料取出后,应清洁真空炉内部。长时间不用时,炉门应保持关闭,炉内应保持真空状态。
真空炉的热处理效果能否达到预期的效果,对掌握正确的操作流程至关重要。同时,按照正确的步骤操作也是设备的维护措施,可以降低故障率,延长使用寿命。
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