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采用感应加热方式的真空炉,升温速率快。
选用硅钼棒作为加热元件,氧化铝纤维为保温材料,可充入氧气气氛,可用作材料的氧化、烧结、退火等工艺。
真空烧结炉是用石墨作发热元件的真空电阻炉,专门碳化物、氮化物及氧化物陶瓷在真空或保护气氛中烧结成制品,也可用于金属材料的热处理。主要应用于电容、钽材等金属及由难熔金属组成的合金材料、陶瓷材料碳化硅及氮化硅的高温烧结、也可以供金属材料在高真空条件下的高温热处理或贵金属材料的除气处理。
真空烧结炉是用石墨作发热元件的真空电阻炉,在抽真空状态下,石墨电阻产生热量,使炉腔内产生高温,通过热辐射传导到材料上,适用于科研、军工单位对难熔合金如钨、钼及其合金的粉末成型烧结。
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